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400-8686-737

PZ系列 高純氣體適用一段式減壓閥

? 適用于超高純氣體、特殊氣體

? 降低系統壓力

? 調節靈敏

? 耐腐蝕性強

? 閥體材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20

? 本體尺寸：1/4"-1/2"??

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產品參數

• 工作溫度:  PCTFE: -40-71°C（ -40-160℉ ) / Vespel®: -10-90°C（ 14-194℉ )

• 進氣壓力：0-3500psig (0-241bar)

• 出氣壓力：1-300psig ( 0.07-20.7bar )

• 本體尺寸：1/4"-1/2"

• 膜片材料：哈氏合金  

• 連接方式：卡套、可旋轉ECR內外螺紋、焊接、公頭/母頭ECR、NPT螺紋

• 閥體材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20

• 密封材料：PCTFE、Vespel®

• 閥體泄漏率(向內泄露)：2.0x10-11Pa·m3/s以下

• 閥體泄漏率(向外泄露)：2.0x10-10Pa·m3/s以下

• 閥座泄露率：4.0x10-9Pa·m3/s以下

• 閥門內部流道：電解拋光處理 Ra≤0.25μm

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